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【儀表】熱式流量計(jì)
更新日期：2016-09-13點(diǎn)擊次數(shù)：1866
創(chuàng)意無(wú)極限，儀表大發(fā)明。今天為大家介紹一項(xiàng)國(guó)家發(fā)明授權(quán)——熱式流量計(jì)。該于2016年8月24日獲得授權(quán)公告。
內(nèi)容說(shuō)明
本發(fā)明涉及在被測(cè)量流體中設(shè)置發(fā)熱電阻體對(duì)流量進(jìn)行測(cè)定的熱式流量計(jì)，特別涉及適用于汽車的內(nèi)燃機(jī)的吸入空氣量和排氣流量的測(cè)定的熱式流量計(jì)。
發(fā)明背景
作為為汽車內(nèi)燃機(jī)的吸入空氣量進(jìn)行測(cè)量的空氣流量計(jì)，能夠直接測(cè)定質(zhì)量流量的熱式的空氣流量計(jì)是目前市場(chǎng)上的主流。
作為熱式的空氣流量計(jì)，具有在硅( Si )等半導(dǎo)體基板設(shè)置將半導(dǎo)體基板的一部分除去后的幾微米的薄膜部，在該薄膜部設(shè)置有形成有發(fā)熱電阻體和感溫電阻體的傳感器元件的半導(dǎo)體類型的熱式空氣流量計(jì)。這樣的半導(dǎo)體類型的熱式流量計(jì)設(shè)置在內(nèi)燃機(jī)的吸氣管路，用于測(cè)定吸入空氣的流量等流體的量。
雖然在上游側(cè)設(shè)置有空氣過(guò)濾器以捕獲塵埃，但是在內(nèi)燃機(jī)的吸氣管路中會(huì)流動(dòng)混入有在空氣過(guò)濾器中不能夠捕獲的微小顆粒和從內(nèi)燃機(jī)的燃燒室側(cè)擴(kuò)散來(lái)的碳、油等異物的吸入空氣。因此，為了高精度地測(cè)定吸入空氣量，需要保護(hù)傳感器元件不受這樣的異物影響。
一直以來(lái)，作為用于保護(hù)傳感器元件不受流體中的異物影響的技術(shù)，具有文獻(xiàn)1或文獻(xiàn)2中記載的技術(shù)。文獻(xiàn)1中記載的技術(shù)是，通過(guò)在流量測(cè)定裝置或傳感器元件的上游側(cè)設(shè)置障礙物來(lái)防止塵埃的進(jìn)入和對(duì)傳感器元件的碰撞。文獻(xiàn)2中記載的技術(shù)是，通過(guò)在副通路的內(nèi)面設(shè)置槽或突起，利用該槽等捕獲水滴等液狀體來(lái)防止液狀體附著于傳感器元件。
發(fā)明內(nèi)容
為解決上述問(wèn)題，本發(fā)明提供一種適用于汽車的內(nèi)燃機(jī)的吸入空氣量和排氣流量的測(cè)定的熱式流量計(jì)。
本發(fā)明在與裝載傳感器元件的一側(cè)的面相對(duì)的副通路內(nèi)壁面，設(shè)置有用于使流體的流速加速而提高傳感器元件的檢測(cè)靈敏度的節(jié)流部。文獻(xiàn)1中記載的技術(shù)雖然通過(guò)在傳感器元件的上游側(cè)設(shè)置障礙物而避免塵埃與傳感器元件碰撞，但是根據(jù)節(jié)流部的形狀，本應(yīng)該因障礙物而離開傳感器元件的塵埃會(huì)由于節(jié)流部而轉(zhuǎn)向至朝向傳感器元件的方向，飛向傳感器元件，與傳感器元件碰撞并附著在傳感器元件上。為了避免這種情況，需要形成和緩的節(jié)流部。但是，按這樣的形狀形成的話，節(jié)流部的形狀失去自由度，而且，因?yàn)樵谀撤N程度上需要將節(jié)流部的距離設(shè)計(jì)得較長(zhǎng)，所以在小型化方面存在極限。進(jìn)一步，從障礙物至傳感器元件的距離變長(zhǎng)，由于障礙物而向從設(shè)置傳感器元件的設(shè)置面離開的方向回避的塵埃擴(kuò)散，不能充分地得到設(shè)置障礙物的效果。特別是粒徑為幾微米的微小顆粒容易擴(kuò)散，更不能得到上述效果。
本發(fā)明的目的在于提供減少傳感器元件的污損的熱式流量計(jì)。
為了達(dá)到上述目的，本發(fā)明的熱式流量計(jì)具有：傳感器元件，其在形成于基板的隔膜上設(shè)置有薄膜部，并具有形成于上述薄膜部的發(fā)熱電阻體；用于設(shè)置上述傳感器元件的支承部件；和副通路，在其中配置上述支承部件的一部分，將在吸氣管路流動(dòng)的吸入氣體的一部分取入，該熱式流量計(jì)具有引導(dǎo)部件，在令沿在上述副通路內(nèi)流動(dòng)的空氣流從上述薄膜部上通過(guò)的直線為L(zhǎng)時(shí)，該引導(dǎo)部件設(shè)置于上述L上的上述支承部件或上述傳感器元件，使沿上述支承部件或上述傳感器元件的表面與空氣流一起飛來(lái)的微小顆粒流向遠(yuǎn)離上述L的方向。
本發(fā)明的有益效果在于，根據(jù)本發(fā)明，能夠提供減少傳感器元件的污損的熱式流量計(jì)。
來(lái)源：儀器交易網(wǎng)